Elektronenmikroskopische Untersuchungen an aufgedampften Nickelfilmen

Abstract

Die Ausmessung von Stereoaufnahmen der Oberflächenabdrucke von Ni-Filmen führt zu Rauhigkeitsfaktoren in der Größe der aus Adsorptionsmessungen erhaltenen. Die aus Elektronen-Beugungs-aufnahmen der Filme berechnete Gitterkonstante verringert sich mit abnehmender Temperungstemperatur. Die Filme zeigen eine mit zunehmender Temperungstemperatur stärker hervortretende [111]-Orientierung. Filme von etwa 60 Å Schichtdicke lassen keine Textur erkennen. Bei höher getemperten Filmen von ca. 3 μ Dicke werden Kristallite mit {001}-, {011}-, {111}- und {112}-Flächen parallel zur Unterlage nachgewiesen.