Elektronenstreuung und Bildentstehung im Übermikroskop

Abstract

Abstract Aus der Intensitätsverteilung einfach elastisch gestreuter Elektronen folgt, daß praktisch alle Elektronen, wenn sie überhaupt einmal einen elastischen Stoß erhalten haben, schon außerhalb des bilderzeugenden Strahls verlaufen. Als Aufhellungsdicke wird die jenige Objektmassendicke bezeichnet, welche im Mittel jedes Elektron des Primärstrahls einmal zur elastischen Streuung bringt, so daß nach Durchlaufen der Aufhellungsdicke noch der 1/e-te Teil (= 36,8 %) ohne elastische Streuung verblieben ist. Die Aufhellungsdicke wird als Funktion der Strahlspannung für die verschiedenen Objektsubstanzen berechnet und dargestellt; sie gibt mit guter Näherung diejenige Objektdicke an, die im Übermikroskop noch aufgehellt und mit gutem Auflösungsvermögen abgebildet wird. Bei den einfach unelastisch gestreuten Elektronen kann man zwei Anteile unterscheiden: der eine Anteil wird ebenfalls verhältnismäßig weit abgestreut, so daß er zu einer weiteren Schwächung des bilderzeugenden Kernstrahls führt; der andere Anteil • wird nur sehr wenig gestreut, so daß er im Kernstrahl verbleibt, diesen verbreitert und chromatisch inhomogen macht. Als Bremsdicke wird diejenige Massendicke des Objekts bezeichnet, die im Mittel jedes Elektron des Primärstrahls einmal zu unelastischer Streuung bringt. Die Bremsdicke wird ebenfalls für eine Anzahl von Streusubstanzen und als Funktion der Strahlspannung berechnet. Sie ist von gleicher Größenordnung wie die Aufhellungsdicke und im wesentlichen von der diamagnetischen Suszeptibilität abhängig. Für ein Beispiel wird die Intensitätsverteilung des durch verschieden dicke Objektschichten gegangenen Strahls nach Richtung und Geschwindigkeit quantitativ aufgezeichnet. Die sich daraus für die Deutung der Bildentstehung ergebenden Folgerungen werden diskutiert.