Von Topographie bis Brechungsindex: Flexibles multi-modales Messen mittels Fusion chromatisch-konfokaler und spektralinterferometrischer Technik

Abstract

Zusammenfassung Bei der Messung technischer Oberflächen treten insbesondere im Umfeld flexibler Fertigung unterschiedlichste Anforderungen auf. Häufig ist eine schnelle hochgenaue Topographie-Messung erwünscht. Durch die Kombination des chromatisch-konfokalen Verfahrens mit der spektralen Interferometrie (Chromatisch-Konfokale Spektral-Interferometrie) ist es möglich, single-shot Messungen mit einem weiten Messbereich und gleichzeitig geringer Unsicherheit zu erzielen. Dabei können ebenso die den beiden einzelnen Verfahren inhärenten Probleme umgangen und so der Einsatzbereich erweitert werden. Mit demselben optischen Aufbau ist es auch möglich, gleichzeitig Brechungsindex und Dicke von Mehrschichtproben mit hoher Auflösung zu vermessen (Chromatisch-Konfokale Kohärenz-Tomographie). Dies ist etwa von Vorteil, wenn das Messobjekt mit funktionalen Schichten versehen ist oder beispielsweise durch eine Ölschicht gemessen werden muss.