Parallelfedern als Führungsmechanik für Tastsysteme-Reference-Cited by-同舟云学术

Parallelfedern als Führungsmechanik für Tastsysteme

Published:2019-01-19 Issue:5 Volume:86 Page:258-266
ISSN:2196-7113
Container-title:tm - Technisches Messen
language:en
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Author:

Frühauf Joachim¹,Sorger Alexander²

Affiliation:

1. SiMetricS GmbH , , Limbach-Oberfrohna , Germany

2. TU Chemnitz , Professur Mikrosysteme und Medizintechnik , Fakultät für Elektro- und Informationstechnik , Chemnitz , Germany

Abstract

Zusammenfassung Parallelfedern eignen sich als Führungsmechanik für Tastsysteme der Oberflächen- und Profilmesstechnik. Der Aufbau realisierter Systeme (Gestell-Federn-Koppel) mit Federn aus Stahl oder Kunststoff (PET) wird beschrieben. Anschließend werden relevante Eigenschaften (z. B. Federkonstanten in z-Richtung und in den Querrichtungen y bzw. x, die Querabweichung und die Verkippung der Koppel bei Auslenkung um

Δ z

\Delta z

und die Eigenfrequenz) theoretisch betrachtet und Messergebnisse vorgestellt. Es folgen relevante Betrachtungen für die Anwendung wie die Einstellung der Tastkraft und die Korrektur der Querabweichung, sowie als Beispiele die Messung eines Formprofils und eine Rauheitsmessung. Abschließend werden weitere Anwendungsaspekte vorgestellt.

Publisher

Walter de Gruyter GmbH

Subject

Electrical and Electronic Engineering,Instrumentation

Link

https://www.degruyter.com/document/doi/10.1515/teme-2018-0075/pdf

Reference6 articles.

1. Whitehouse, D. J.: Handbook of Surface Metrology, IOP Publishing Ltd for Rank Taylor Hobson Ltd, 1994.

2. Frühauf, J.; Seifert, M.; Sorger, A.: Application of etched silicon springs as guiding mechanism for the stylus in tactile surface profilers. XII. International Colloquium on Surfaces, Chemnitz, January 28th and 29th 2008.

3. Krause, W.: Konstruktionselemente der Feinmechanik, Carl Hanser Verlag, München, Wien, 1998.

4. Frühauf, J.: Problems of contour measuring on microstructures using a surface profiler, Meas. Sci. Technol. Vol. 9, 1998, 293–296.10.1088/0957-0233/9/3/001

5. Tang, W. C.; Nguyen, T.-C. H.; Howe, R. T.: Laterally Driven Polysilicon Resonant Microstructures. Sensors and Actuators, Vol. 20, 1989, 25–32.10.1016/0250-6874(89)87098-2

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