1. Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Technische Universität Ilmenau, Gustav-Kirchhoff-Straße 1, Ilmenau , Germany
2. Fachgebiet Feinwerktechnik, Technische Universität Ilmenau, Gustav-Kirchhoff-Platz 2, Ilmenau , Germany
3. Fachgebiet Mikro- und nanoelektronische Systeme, Technische Universität Ilmenau, Gustav-Kirchhoff-Straße 1, Ilmenau , Germany
4. Fachgebiet Technische Optik, Technische Universität Ilmenau, Helmholtzring 1, Ilmenau , Germany