Rauheitsauswertung mit hoher lateraler Auflösung mittels räumlicher Lichtmodulatoren / Roughness evaluation with high lateral resolution by spatial light modulators

Abstract

Zusammenfassung Die Oberflächeneigenschaften, insbesondere die Rauheit, sind in der Industrie von großer Bedeutung. Derzeit gibt es zahlreiche Verfahren zur optischen Rauheitsmessung. Ziel der in diesem Artikel beschriebenen Arbeiten ist es, eine Verbesserung der in [1, 2] beschriebenen Verfahren zu erzielen. Da bei realen Rauheitsmessungen gekrümmte Streifen auftreten, wird das Verfahren durch eine lokale Ermittlung der Streifenausrichtung im Interferogramm erweitert. Durch die Richtungsbestimmung der Streifen kann eine hohe laterale Auflösung erzielt und Oberflächenunregelmäßigkeiten besser erkannt werden. Als Referenz im Messsystem wird ein räumlicher Lichtmodulator verwendet.