Super-Photolumineszenz-Effekte in GaN-Schichten bei erhöhter Temperatur
Author:
Prall Christoph1,
Noevermann Ingo1,
Rueter Dirk1
Affiliation:
1. Hochschule Ruhr West, Mülheim an der Ruhr
Abstract
Zusammenfassung
LEDs gelten als umweltfreundliche Beleuchtungstechnik. Für die
Massenanwendung arbeiten die LED-Hersteller an einer Senkung der
Kosten bzw. einer Erhöhung der Ausbeute, insbesondere bei der
aufwendigen LED-Kristallbeschichtung auf den Wafern. Während der
Beschichtung (MOCVD) werden optische In-situ-Messgeräte zur
Überwachung des Prozesses genutzt. Die hier vorgestellte Untersuchung
beschäftigt sich mit dem Einfluss von Super-Photolumineszenz-Effekten
bei einer möglichen In-situ-Prozesskontrolle in der MOCVD.
Publisher
Walter de Gruyter GmbH
Subject
Electrical and Electronic Engineering,Instrumentation