Massenspektrometrische Untersuchung der Vorgänge beim Verdampfen von Indiumarsenid

Abstract

InAs wurde auf etwa 1000°K erhitzt und die Verdampfungsprodukte massenspektrometrisch analysiert. Es wurde festgestellt, daß das Arsen fraktioniert in Form von As4- und As2-Molekülen verdampft. Der Verdampfungsvorgang kann in drei Zeitabschnitte eingeteilt werden: 1. Sublimation von Arsen aus festem InAs, dabei Ausbildung einer mit Indium angereicherten flüssigen Phase an der Oberfläche; 2. Verdampfen des Arsens aus der flüssigen Phase unter fortschreitender Auflösung des festen InAs-Kristalles und 3. Verdampfen des in flüssigem Indium vorhandenen restlichen Arsens mit exponentiell abklingenden Verdampfungsraten. Aus der Temperaturabhängigkeit der Verdampfungsrate von As4 bzw. As2 wurde eine Aktivierungsenergie der Verdampfung von 88 ± 5 bzw. 78 ± 5 kcal pro Mol bestimmt.