Affiliation:
1. Field Emission Laboratory, The Pennsylvania State University, University Park, U.S.A.
Abstract
Eine Betrachtung des Auflösungsvermögens des Feldemissionsmikroskopes läßt den Betrieb mit Ionen an Stelle von Elektronen als vorteilhaft erscheinen. Einige Daten der Felddesorption und der Feldionenemission werden mitgeteilt und der Mechanismus dieser Effekte wird erläutert. Daraus ergibt sich eine Beziehung für das Auflösungsvermögen, die experimentell bestätigt wird. Helium erweist sich als besonders günstig für die Abbildung hochfester Metalloberflächen. Kühlung des Mikroskopes mit festem Stickstoff oder flüssigem Wasserstoff zur Erhöhung des Akkomodationskoeffizienten läßt die atomare Struktur des Objektes sichtbar werden. Benachbarte Wolframatome von 2,74 A Abstand werden klar getrennt.
Subject
Physical and Theoretical Chemistry,General Physics and Astronomy,Mathematical Physics
Cited by
28 articles.
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