A POTENTIAL AND NOVEL HIGH k DIELECTRICS SUITABLE FOR DRAM

Author:

LU DA-YONG1,SHOJI MASAFUMI2,UMEDA MASARU2,KUSUHARA MASAKI2,TODA MASAYUKI1

Affiliation:

1. a Department of Chemistry and Chemical Engineering, Faculty of Engineering , Yamagata University , 4-3-16, Jonan, 992-8510, Yonezawa, Japan

2. b Wacom Electric Co. Ltd. , 568 Tanaka, Kawamoto-machi, Osato-gun, 369-1108, Saitama, Japan

Publisher

Informa UK Limited

Subject

Materials Chemistry,Electrical and Electronic Engineering,Condensed Matter Physics,Ceramics and Composites,Control and Systems Engineering,Electronic, Optical and Magnetic Materials

同舟云学术

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