Experimental Study of Particle Deposition on Semiconductor Wafers

Author:

Pui David Y. H.,Ye Yan,Liu Benjamin Y. H.

Publisher

Informa UK Limited

Subject

Pollution,General Materials Science,Environmental Chemistry

Reference14 articles.

1. Donovan , R P. , Clayton , A C. , and Ensor , D S. ( 1987 ). InProceedings. IES 33rd Annual Technical Meeting, San Jose, CA, pp. 473 – 478 .

2. Diffusive leakage of small particles across the dust-free layer near a hot wall

3. Hayakawa , I. , Fujii , S. , and Kim , K Y. ( 1986 ). InProceedingsIES 32nd Annual Technical Meeting, Dallas, TX, pp. 483 – 486 .

4. Particle Deposition on Semiconductor Wafers

5. Liu , B Y. H. , Fardi , B. , and Ahn , K H. ( 1987 ).Proceedings, IES 33rd Annual Technical Meeting, San Jose, CA, pp. 461 – 465 .

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