Compositional non-uniformity in a sputter-deposited amorphous Al–Ta alloy

Author:

Shimizu K.1,Thompson G. E.1,Wood G. C.1,Kurima Y.2,Kobayashi K.2,Yoshioka H.3,Asami K.3,Kawashima A.3,Hashimoto K.3

Affiliation:

1. a Corrosion and Protection Centre , University of Manchester Institute of Science and Technology , Manchester , M60 1QD , England

2. b Department of Chemistry Faculty of Science and Technology , Keio University , 3-14-1 Hiyoshi, Yokohama , 223 , Japan

3. c Institute for Materials Research Tohoku University , Sendai , 980 , Japan

Publisher

Informa UK Limited

Subject

General Physics and Astronomy,General Chemical Engineering

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