MIM cathodes, their application to electron lithography and characteristics of the emitted electrons
Author:
Affiliation:
1. a Institute of Scientific Instruments, Czechoslovak Academy of Sciences , Kralovopolska 147, Brno, 612 64, Czechoslovakia
2. b Institute of Mathematics and Physics, Roskilde University Centre , Postbox 260, Roskilde, DK-4000, Denmark
Publisher
Informa UK Limited
Subject
Electrical and Electronic Engineering
Link
https://www.tandfonline.com/doi/pdf/10.1080/00207219208925724
Reference3 articles.
1. A 1:1 electron stepper
2. Transmission coefficient and energy distribution of electrons emitted from M-I-M thin film structures
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