1. 1) M. A. Lieberman and A. J. Lichtenberg: Principles of Plasma Discharges and Material Processing, John Wiley & Sons, NY, 1994.
2. Metal ion implantation: Conventional versus immersion
3. 3) F. F. Chen and J. P. Chang: Lecture Notes on Principles of Plasma Processing, Kleuwer Academic/Plenum Publishers, NY, 2003.
4. 4) 電気学会.プラズマイオン高度利用プロセス調査専門委員会編「プラズマイオンプロセスとその応用」,オーム社,2006.