Affiliation:
1. 金沢大学
2. TSMC
3. パナソニック株式会社
4. 東北大学
5. ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社
6. NHK
7. 東京工業大学
8. 北海道大学
9. 埼玉大学
10. 静岡大学
11. キヤノン株式会社
12. 株式会社ニコン
13. 浜松ホトニクス株式会社
14. 三菱電機株式会社
Publisher
Institute of Image Information and Television Engineers
Reference82 articles.
1. 1）S. Sukegawa et al., ISSCC, pp.484-485（2013）
2. 2）H. Ehrmann et al., Adv. Metallization Conf., pp.53-58（2002）
3. 3）A. Tournier et al., IISW, R5（2011）
4. 5）T. Shinohara et al., IEDM, pp.27.4.1-27.4.4（2013）
5. 6）T. Arai et al., IEEE Trans. ED, 64（12），pp.4992-5000（2017）