1. Schade, K., Suchaneck, G., Tiller, H.-J.: Plasmatechnik - Anwendung in der Elektronik. Verlag Technik, Berlin, 1990
2. Chopra, L.K., Das, S.R.: Thin film solar cells. Plenum Press, N.-Y. - London, 1983
3. Zarowin, C.B.: A theory of plasma-assisted transport processes. J. Appl. Phys. 57 (1985)3.- S.929–942
4. Haefner, R.A.: Oberflächen-und Dünnschichttechnologie. Teil I: Beschichtungen von Oberflächen. Springer, Berlin-Heidelberg, 1987 Teil II: Oberflächenmodifikation durch Teilchen und Quanten. Springer, Berlin-Heidelberg, 1991
5. Pitt, K.E.G.: Dickfilmtechnik. Franzis-Verlag, München, 1983