Photoresist systems for microlithography

Author:

Vollenbroek Frans A.,Spiertz Elly J.

Publisher

Springer-Verlag

Reference73 articles.

1. DeForest, W. S.: Photoresists, Materials and Processes, McGraw-Hill, New York 1975

2. Grimm, L., Hilke, K. H., Scherner, E.: J. Electrochem. Soc. 130, 1767 (1983)

3. Koibuchi, S., Isobe, A., Makino, D., Iwayanagi, T., Hashimoto, M., Nonogaki, S.: SPIE Proc. 539, 182 (1985)

4. Spak, M., Mammoto, D., Jain, S., Durham, D.: SPE-Regional Technical Conference: “Photopolymers, Principles, Processes and Materials”, Ellenville, N.Y., 28–30 October 1985, Technical Papers, 247

5. Steppan, H., Buhr, G., Vollmann, H.: Angew. Chem. 94, 471 (1982)

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