1. Sherman, A.: Chemical Vapor Deposition for Microelectronics. Park Ridge, New Jersey: Noyes Publications 1987
2. Frey, H.; Kienel, G. (Hrsg.): Dünnschichttechnologie. Düsseldorf: VDI-Verlag
3. Gerthsen, C.: Physik. Berlin: Springer 1963
4. Huppertz, H.: Modellierung einer Niederdruckabscheidung von S102. Dissertation, Fakultät der RWTH Aachen, 1980
5. Kamins, T.: Polycristalline Silicon for Integrated Cicuit Applications. Kluwer Academic Publishers 1988