Preparation and Patterning of Silicon Nitride Layers and Films-Reference-Cited by-同舟云学术

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Preparation and Patterning of Silicon Nitride Layers and Films

Published:1991 Issue: Volume: Page:3-33
ISSN:
Container-title:Si Silicon
language:
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Author:

Krimmel Eberhard F.,Hezel Rudolf,Nohl Uwe,Bohrer Rainer

Publisher

Springer Berlin Heidelberg

Link

http://link.springer.com/content/pdf/10.1007/978-3-662-09901-8_2

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