Silicon Nitride as Mask and Dielectric in Field Effect Devices

Author:

Krimmel Eberhard F.,Hezel Rudolf,Nohl Uwe,Bohrer Rainer

Publisher

Springer Berlin Heidelberg

Reference395 articles.

1. Ebest, G.; Brumme, R. (Wiss. Z.Tech. Hochsch. Karl-Marx-Stadt 17 [1975] 309/19; C.A. 84 [1976] No. 98187).

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3. Ebest, G.; Brumme, R. (Wiss. Z. Tech. Hochsch. Karl-Marx-Stadt 19 [1977] 583/94; C.A. 92 [1980] No. 224713).

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