1. Classification of airborne molecular contaminant levels in clean environments, SEMI F 21–95. http://www.semi.org
2. Unterlagen, M. von: Pfutterer, M + W Products GmbH, zur ITRS Diskussion über Refractories
3. ITRS International Technology Roadmap for Semiconductors, 2007 edition, Yield enhancement (2007)
4. Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche – Teil 8: Klassifikation luftgetragener molekularer Kontamination, DIN EN ISO 14644-8; Deutsche Fassung EN ISO 14644-8 (2006)
5. Schwedt, G.: Taschenatlas der Umweltchemie. Thieme, Stuttgart (1996)