1. S. Büttgenbach, A. Dietzel, Fertigungsverfahren der Mikrotechnik, in Dubbel, Taschenbuch für den Maschinenbau, 24. Aufl., ed. by K.-H. Grote, J. Feldhusen (Springer, Berlin, 2014), S. S96–S105
2. T.H. Maiman, Stimulated Optical Radiation in Ruby. Nature 187, 493–494 (1960)
3. R.D. Schaeffer, Fundamentals of Laser Micromachining (CRC Press, Boca Raton, 2012)
4. S. Büttgenbach, Mikromechanik, 2. Aufl. (B. G. Teubner, Stuttgart, 1994)
5. D. Bäuerle, Laser processing and chemistry, 4. Aufl. (Springer, Berlin, 2011)