Author:
Widmann Dietrich,Mader Hermann,Friedrich Hans,Heywang Walter,Müller Rudolf
Publisher
Springer Berlin Heidelberg
Reference65 articles.
1. Mader, H.: Etching processes. In: Landolt-Börnstein. Neue Serie Bd. 17c, Technologie von Si, Ge und SiC. Berlin: Springer 1984, S. 280–305
2. Ruge, I.; Mader, H.: Halbleiter-Technologie. 3. Aufl. Berlin: Springer 1991
3. Horiike, Y.; Shibaaki, M.: Jpn. J. Appl. Phys. 15 (1976) 13
4. Coburn; J.W.; Winters, H.F.: J. Vac. Sci. Techn. 16
5. Steinfeld, J.I. et al.: J. Electrochem. Soc. 127 (1980) 514