Etching technology

Author:

Widmann Dietrich,Mader Hermann,Friedrich Hans,Heywang Walter,Müller Rudolf

Publisher

Springer Berlin Heidelberg

Reference65 articles.

1. Mader, H.: Etching processes. In: Landolt-Börnstein. Neue Serie Bd. 17c, Technologie von Si, Ge und SiC. Berlin: Springer 1984, S. 280–305

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3. Horiike, Y.; Shibaaki, M.: Jpn. J. Appl. Phys. 15 (1976) 13

4. Coburn; J.W.; Winters, H.F.: J. Vac. Sci. Techn. 16

5. Steinfeld, J.I. et al.: J. Electrochem. Soc. 127 (1980) 514

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