Author:
Sanders S. C.,Ekin J. W.,Jeanneret B.
Reference11 articles.
1. T. E. Harvey, J. Moreland, B. Jeanneret, R. H. Ono, and D. A. Rudman, Appl. Phys. Lett. 61, 2225(1992).
2. M. J. Burns, K. Char, B. F. Cole, W. S. Ruby, and S. A. Sachtjen, Appl. Phys. Lett. 62, 1436 (1993).
3. J. W. Ekin, T. M. Larson, N. F. Bergren, A. J. Nelson, A. B. Swartzlander, L. L. Kazmerski, A. J. Panson, and B. A. Blankenship, Appl. Phys. Lett. 52, 1819 (1988).
4. S. P. Murarka, Metallization, in: “VLSI Technology,” 2nd Edition, S. M. Sze, ed., McGraw-Hill, New York, (1988).
5. S. S. Cohen and G. S. Gildenblat, “Metal-Semiconductor Contacts and Devices” vol. 13 in VLSI Electronics Microstructure Science, Academic Press (1986).