Pyrolytic LCVD of fibers: A theoretical description

Author:

Arnold N.,Thor E.,Kirichenko N.,Bäuerle D.

Publisher

Springer Science and Business Media LLC

Subject

General Materials Science,General Chemistry

Reference22 articles.

1. D. Bduerle:Chemical Processing with Lasers, Springer Ser. Mater. Sci. Vol. 1 (Springer, Berlin, Heidelberg 1986) D. Bäuerle:Laser Processing and Chemistry (Springer, Berlin, Heidelberg 1996)

2. D.J. Ehrlich, J.Y. Tsao (eds.):Laser Microfabrication- Thin Film Processes and Lithography (Academic, New York 1989)

3. EMRS Symp. Proc.,1992

4. G. Leyendecker, D. Bäuerle, P. Geittner, H. Lydtin: Appl. Phys. Lett.39, 921 (1981)

5. D. Bäuerle, P. Irsigler, G. Leyendecker, H. Noll, D. Wagner: Appl. Phys. Lett.40, 819 (1982)

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