1. W. H. Haydl, H. D. Müller, H. Ennen, W. Korber, and K. W. Benz, Appl. Phys. Lett.,49, 870 (1985).
2. P. S. Whitney, K. Uwai, H. Nakagome, and K. Takahei, Electron. Lett.,24, 740 (1988).
3. W. K. Chu, J. W. Mayer, and M. A. Nicoler, Backscattering Spectrometry, Academic Press, New York (1978).
4. L. G. Feldman, J. W. Mayer, and S. T. Picraux, Materials Analysis by Ion Channeling, Academic Press, New York (1982).
5. D. S. Gemmel, Rev. Mod. Phys.46, 129 (1974).