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Springer Fachmedien Wiesbaden
Reference6 articles.
1. Köhler M.: Etching in Microsystem Technology. Wiley-VCH, Weinheim (1999)
2. Ruge I.: Halbleiter-Technologie, Reihe Halbleiter-Elektronik, Bd. 4. Springer, Berlin (1984)
3. Hilleringmann U.: Mikrosystemtechnik auf Silizium. Teubner, Stuttgart, (1995)
4. Tsujimura M.: Processing tools for manufacturing. In: Li Y. (Hrsg.) Microelectronic Applications of Chemical Mechanical Planarization, S. 57 ff. Wiley, Hoboken (2008)
5. Yoo C.S.: Semiconductor Manufacturing Technology, S. 400 ff. World Scientific, Hackensack (2008)