Kalibrierung von Vakuummessgeräten

Author:

Jousten Karl

Publisher

Springer Fachmedien Wiesbaden

Reference30 articles.

1. Jousten, K., Röhl, P.: Instability of the spatial electron current distribution in hot cathode ionization gauges as a source of sensitivity changes. J. Vac. Sci. Technol. A 13, 2266–2270 (1995)

2. ISO 3567: Vacuum technology – vacuum gauges – calibration by direct comparison with a reference gauge (2011)

3. Richtlinie DKD-R 6-2: Kalibrierung von Messmitteln für Vakuum, 03/2002, Teil 1 Grundlagen, Teil 2 Messunsicherheiten, Teil 3 Elektrische Membranvakuummeter, Teil 4 Ionisations-Vakuummeter, Teil 5 Wärmeleitungs-Vakuummeter, zu beziehen durch die DAkkS, Bundesallee 100, 38116 Braunschweig (2002)

4. Hyland, R.W., Shaffer, R.L.: Recommended practices for the calibration and use of capacitance diaphragm gages as transfer standards. J. Vac. Sci. Technol. A 9, 2843 (1991)

5. Jousten, K.: Temperature corrections for the calibration of vacuum gauges. Vacuum 49, 81–87 (1998)

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