Author:
Frey Hartmut,Westkämper Engelbert,Hintze Bernd
Publisher
Springer Fachmedien Wiesbaden
Reference3 articles.
1. Coburn, J.W. u. H.F. Winter: An. Rev. Mater Sci. (1983), S. 91
2. Pongratz, S., R. Gesche, K.H. Kretchmer, G. Lorenz, Leybold AG, Alzenau M. Hafner, u. J. Zink, IBM Deutschland, Sindelfingen: Circular Polarized ECR-Quelle J. Vac. Sc. Technol. B(9) Nov−Dez. 1991, S. 3493
3. Birkle, D., u. M. Mayr: Untersuchung einer Ionenstrahlanlage BMFT Vorhaben 13 N 7417, 1999