Dotierungsmethoden

Author:

Frey Hartmut,Westkämper Engelbert,Hintze Bernd

Publisher

Springer Fachmedien Wiesbaden

Reference36 articles.

1. Boltaks, B.J.: Diffusion in Semiconductors, Academic Press, New York (1968)

2. Williams, J. S. and J.M. Poate, (Eds). Academic Press, 1984

3. H, Frey, ionenstrahlgestützte Halbleitertechnologie, VDI-Verlag 1992

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