Publisher
Springer Fachmedien Wiesbaden
Reference36 articles.
1. DIN 28400: Teil 2, Vakuumtechnik Benennungen und Definitionen. Beuth Verlag, Berlin (1980)
2. Becker, W.: Eine neue MolekularpumpeVakuum-Technik 7, 149–152 (1958)
3. Gaede, W.: Ann. Physik (Leipzig) 41, 337–380 (1913)
4. Bijker, M.D., Bosch, R.C.M., Conrad, A.: Aspects of fast load lock designs in vacuum manufacturing equipment. J. Vac. Sci. Technol. A 29(1), 011010 (2011)
5. Shirinov, A.: Hochvakuumpumpe gegen Atmosphäre. Vak. Forsch. Prax. 22, 10–14 (2010)