1. T. Ohmi,Ultra Clean Technology Handbook, p. 19–22, Marcel Dekker, Inc., USA (1993).
2. J. H. Chio, D. H. Shin, K. P. Jang, K. C. Namgung, J. K. Kim, and W. J. Lee,Korean Journal of Materials Research 36, 1477 (1998).
3. W. Kern and D. A. Puotinen,RCA Rev. 31, 187 (1970).
4. C. Y. Chang and S. M. Sze,ULSI Technology, p. 60–104, Mcgraw-hill College, Bentzen (1996).
5. H. Morita,Solid State Phenomena 7, 65 (1999).