Consideration and compensation for precision optical flying height measurement
Author:
Publisher
Springer Science and Business Media LLC
Subject
Surfaces, Coatings and Films,Surfaces and Interfaces,Mechanical Engineering,Mechanics of Materials
Link
http://link.springer.com/content/pdf/10.1007/s11249-006-9161-1.pdf
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1. A double common-path heterodyne interferometer for the measurement of flying height modulation;Measurement Science and Technology;2008-04-08
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