Evaluation of concentration-depth profiles by sputtering in SIMS and AES

Author:

Hofmann S.

Publisher

Springer Science and Business Media LLC

Subject

General Materials Science,General Chemistry,General Engineering

Reference32 articles.

1. G.K. Wehner, G.S. Anderson: In:Handbook of Thin Film Technology McGraw Hill, New York 1970, Chapter 3

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3. H.W.Werner: In:Quant. Analysis with EMPand SIMS, Jül-Conf.8 (1973), p. 239

4. A. Benninghoven: Appl. Phys.1, 3 (1973)

5. R.E. Weber: Res. Dev.23, 22 (1972)

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