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A New Combined Spectroscopic Ellipsometer for the NIR and VIS-UV Range, using a Fourier-transform and a Grating Spectrometer

  • Published:1997 Issue: Volume: Page:781-783
  • ISSN:
  • Container-title:Progress in Fourier Transform Spectroscopy
  • language:
  • Short-container-title:

Author:

Richter Uwe,Dittmar Georg,Wielsch Uwe

Publisher

Springer Vienna

Reference3 articles.

1. R. M. A. Azzam, N. M. Bashara, Ellipsometry and Polarized Light, North-Holland, Amsterdam, 1989, p. 55.

2. R. M. A. Azzam, N. M. Bashara, Ellipsometry and Polarized Light, North-Holland, Amsterdam, 1989, p. 153.

3. M. E. El-Ghazzawi, T. Saitoh, N. Hori, A. Sakai, T. Oka, Thin Solid Films 1993, 233, 218.
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