Fabrication of 3D Microfluidic Structures
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Springer US
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http://link.springer.com/content/pdf/10.1007/978-3-642-27758-0_520-2
Reference8 articles.
1. Ghandhi SK (1994) VLSI fabrication principles (second version). Wiley, New York
2. Madou M (2004) Fundamentals of microfabrication. RCA Press LLC, Boca Raton
3. Kim MT (2004) Kinetics of etching in inductively coupled plasmas. Appl Surf Sci 228:245–256
4. Xia Y, Whitesides G (1998) Soft lithography. Annu Rev Mater Sci 28:153–184
5. Zubel I, Kramkowska M (2005) Possibility of extension of 3-D shapes by bulk micromachining of different Si (hkl) substrates. J Micromech Microeng 15:485–493
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