Formation of SiC Thin Films by Ion Beam Synthesis

Author:

Lindner J. K. N.

Publisher

Springer Berlin Heidelberg

Reference104 articles.

1. Silicon Carbide, A Review of Fundamental Questions and Applications to Current Device Technology, Vol. I and II, ed. by W.J. Choyke, H. Matsunami, G. Pensl (Akademie Verlag, Berlin, 1997)

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