1. Rüchardt, H., Integrierte Halbleiterschaltungen auf dem Weg zur GroBtintegration. E und M, Jg. 95, H. 6/7, S. 292–301
2. Spenke, E., Heywang, W., phys. stat. sol. (a), 64, S. 11–44 (1981)
3. Semiconductor International, Mai 1981, S. 24
4. Lyman, J., Scaling the barriers to VLSI’s fine lines. Electronics, 19. Juni 1980, S. 115–126
5. Watts, R.K., Advanced Lithography, in Barbe, D.F.(Ed.): Very Large Scale Integration ( VLSI ), Springer-Verlag (1980), S. 42–85