Gaseous Phase and Surface Processes

Author:

Frey Hartmut

Publisher

Springer Berlin Heidelberg

Reference8 articles.

1. Schlichting, H.: Methoden und Mechanismen der thermischen Desorption: Adsorptions-, Desorptions-Kinetik, Epitaxie und Ordnung von Edelgasschichten auf Ru(001). Im Fachbereich Physik der Technischen Universität München eingereichte Dissertation. München: 1990.

2. Christmann K (1991) Introduction to Surface Physical Chemistry. Springer, New York

3. Experimentalphysik;W Demtröder,2000

4. Henzler M (1994) Oberflächenphysik des Festkörpers. Teubner, Stuttgart

5. Bean, F. E.: Anisotropic etching of silicon, IEEE Trans. Electron.Devices ED-25, No. 10, pp. 1185–1193 (Okt. 1978)

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