Interference Measurement of Surfaces Roughness

Author:

Angelsky Oleg V.,Maksimyak Andrew P.,Maksimyak Peter P.

Publisher

Springer Berlin Heidelberg

Reference7 articles.

1. Bennett, J., Mattson, L.: Introduction to Surface Roughness and Scattering. Optical Society of America, Washington, D.C. (1999)

2. Pantzer, D., Politch, J., Ek, L.: Heterodyne profiling instrument for the angstrom region. Appl. Opt. 25, 4168–4172 (1986)

3. Beckmann, P., Spizzichino, A.: The Scattering of Electromagnetic Waves from Rough Surfaces. Pergamon Press, London (1963)

4. Sirohi, R. (ed.): Speckle Metrology. Marcel Deker, New York (1993)

5. Angelsky, O., Hanson, S., Maksimyak, P.: The Use of Optical-Correlation Techniques for Characterizing Scattering Object and Media, PM71. SPIE Press, Bellingham (1999)

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