Physical Vapor Deposition Under Plasma Conditions

Author:

Konuma Mitsuharu

Publisher

Springer Berlin Heidelberg

Reference185 articles.

1. N. Laegried, G.K. Wehner: J. Appl. Phys. 32, 365 (1961)

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3. R.V. Stuart, G.K. Wehner: J. Appl. Phys. 35, 1819 (1964)

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5. T. Asamaki: Fundamentals of Thin Film Formation (Nikkan-Kogyo-ShinbunSha, Tokyo 1977) [In Japanese]

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