Impurity distribution in the case of selective diffusion from a round source

Author:

Panteleev V. A.,Urman P. N.,Skryatin V. N.

Publisher

Springer Science and Business Media LLC

Subject

General Physics and Astronomy

Reference9 articles.

1. S. N. Levin, Fundamentals of Semiconductor Microelectronics [in Russian], Sov. Radio, Moscow (1966).

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