Author:
Baum Thomas H.,Miller Delores C.,O’Toole Terrence R.
Reference26 articles.
1. L. F. Thompson, C. G. Willson, and M. F. Bowden, Eds., “Introduction to Microlithography,” American Chemical Society Symposium Series 219, Washington, DC (1983).
2. D. P. Seraphim, IBM J. Res. Dev., 26, 37 (1982).
3. J. F. D’Amico, F. A. Litt, and M. A. DeAngelo, J. Electrochem. Soc., 119, 956 (1972). R. L. Cohen, J. F. D’Amico, and K. W. West, J. Electrochem. Soc., 118, 2042 (1971).
4. J. J. Kelly, and J. K. Vondeling, J. Electrochem. Soc., 122, 1103 (1975) and references therein.
5. B. K. W. Baylis, N. E. Hedgecock, and M. Schlesinger, J. Electrochem. Soc., 124, 326 (1977). M. SchleSinger, J. Electrochem. Soc., 121, 667 (1974). B. K. W. Baylis, A. Busuttil, N. E. Hedgecock, and M. Schlesinger, J. Electrochem. Soc., 123, 1376 (1976).