Investigation of Ion Implantation Damage with X-Ray Double Reflection

Author:

Lecrosnier D. P.,Pelous G. P.,Burgeat J.

Publisher

Springer US

Reference18 articles.

1. J. Burgeat, R. Colella, J.A.P. Vol. 40, N° 9 (1969)

2. S. Kishino, A, Noda, Proceedings of the 4th Conference on Solid State Devices, Tokyo (1972)

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5. F.F. Morehead, J,R. and B.L, Crowder,,“Ion implantation” edited by F.H. Eisen and L.T, Chadderton (Gordon and Breach, 1971 )

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