Basic Aspects of Ion Implantation

Author:

Rimini E.

Publisher

Springer Netherlands

Reference40 articles.

1. H. Ryssel and I. Ruge, ”Ion Implantation”, John Wiley & Sons, New York (1986)

2. ”Ion Implantation: Science and Technology” J.F. Ziegler, Eds. Academic Press Orlando, Florida (1987)

3. S.M. Sze ”Semiconductor Devices: Physics and Technology” John Wiley & Sons, New York (1985)

4. B.J. Baliga ”Modern Power Devices” John Wiley & Sons, New York (1987)

5. M.F. Catania, F. Frisina, N. Tavolo, G. Ferla, S. Coffa and S.U. Campisano, ”Optimization of the Trade-off between switching speed of the internal diode and on-resistance of gold and platinum implanted MOS transistors” IEEE Trans-on Electron Devices (in press)

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