1. T.F. Deutsch, D.J. Ehrlich, R.M. Osgood: Appl. Phys. Lett 35,175 (1979).
2. Photochemical processing of electronic materials, I.W. Boyd and R.B. Jackman eds., Academie Press, London (1992).
3. E. Borsella, P. Cardoni, R. Larciprete, M. Nardelli: Il Vuoto, 21,53 (1991).
4. R. Larciprete, S. Fontana, E. Borsella: Chemtronix 4,184 (1989).
5. S. K. Gandhi, R. Siviy, J. M. Borrego: Appl. Phys. Lett. 34,2833 (1979);