Low dose SIMOX for ULSI applications

Author:

Auberton-Hervé A. J.,Aspar B.,Pelloie J. L.

Publisher

Springer Netherlands

Reference19 articles.

1. P.BMumola,G.J.Gardopee, Extended Abstracts of the 1994 Solid State Devices and Materials (SSDM) p.256

2. D.K.Sadana, Y.J.Hovel,K.Petrillo , 1994 IEEE International SOI Conference Proceedings, p.111.

3. A.Yosmno,K.Kumagai,N.Hamatake,S.Kurosawa, K.Okumura, 1994 IEEE International SOI Conference Proceedings, p107

4. T.Tanigawa,A.Yoshino,H.Koga,S.Ohya , Proceedings of 1994 IEEE Symposium on VLSI Technology p.37

5. K.Suma,T.Tsuruda,H.Hidaka. & al.Proceedings of ISSCC 1994 p138

Cited by 6 articles. 订阅此论文施引文献 订阅此论文施引文献,注册后可以免费订阅5篇论文的施引文献,订阅后可以查看论文全部施引文献

1. Masks for Extreme Ultraviolet Lithography;Handbook of Photomask Manufacturing Technology;2005-04-07

2. Soi Materials;Silicon-on-Insulator Technology: Materials to VLSI;2004

3. Introduction;Silicon-on-Insulator Technology: Materials to VLSI;2004

4. Silicon-on-Insulator and Porous Silicon;Silicon;2004

5. A new type of spatial light modulator at 1.3 µm on silicon-on-insulator substrate;Annales Des Télécommunications;1997-11

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