Design and Analysis of Vacuum Robot for Cluster Tools
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Springer Berlin Heidelberg
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http://link.springer.com/content/pdf/10.1007/978-3-540-88513-9_31.pdf
Reference8 articles.
1. Yao, Y.D., Chiou, G.J., Huang, D.R., Wang, S.J.: Theoretical Computations for the Torque of Magnetic Coupling. J. IEEE Transactions on Magnetics 31, 1881–1884 (1995)
2. Srinivasan, R.S., Inc, A.M., Austin, T.X.: Modeling and performance analysis of cluster tools using Petri nets 11(3) (1998)
3. Nio, S., et al.: Vacuum-compatible robot for self-contained manufacturing. AIP (1989)
4. Yau, C.H., Jong, W.R., Wang, H.H.: Design and Analysis of SCARA Substrate Transfer Robot for Semiconductor and FPD Processing Cluster Tools (2006)
5. Nagrial, M.H.: Performance of magnetic couplings using Nd-Fe-B magnets 2 (1996)
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