Control of size and shape of ncSi in aSiNx/aSi:H multilayers by laser induced constrained crystallization

Author:

Zhang L.,Chen K.,Huang X.,Wang L.,Xu J.,Li W.

Publisher

Springer Science and Business Media LLC

Subject

General Materials Science,General Chemistry

Reference24 articles.

1. Z.H. Lu, D.J. Lockwood, J.M. Baribeau: Nature 378, 258 (1995)

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5. L. Pavesi, L.D. Negro, C. Mazzoleni: Nature 408, 440 (2000)

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