Improved homogeneity of plasma and coating properties using a lance matrix gas distribution in MW-PECVD

Author:

Kirchheim DennisORCID,Wilski Stefan,Jaritz Montgomery,Mitschker Felix,Oberberg Moritz,Trieschmann Jan,Banko Lars,Brochhagen Markus,Schreckenberg Rabea,Hopmann Christian,Böke Marc,Benedikt Jan,de los Arcos Teresa,Grundmeier Guido,Grochla Dario,Ludwig Alfred,Mussenbrock Thomas,Brinkmann Ralf Peter,Awakowicz Peter,Dahlmann Rainer

Funder

Deutsche Forschungsgemeinschaft

Publisher

Springer Science and Business Media LLC

Subject

Colloid and Surface Chemistry,Surfaces, Coatings and Films,Surfaces and Interfaces,General Chemistry

Reference45 articles.

1. Vissing, KD, Aufskalierung plasmapolymerer Beschichtungsverfahren. Cuvillier Verlag, Göttingen (2008)

2. Leu, GF, “Experimentelle Untersuchung und Modellierung der Volumenprozesse in einem mikrowellenangeregten Hexamethyldisiloxan/Sauerstoff/Argon-Beschichtungsplasma.” Bergische Universität Wuppertal, Dissertation (2009)

3. Bahroun, K, “Prozessentwicklung zur Abscheidung dehnbarer Barriereschichten auf PET mittels Plasmapolymerisation.” RWTH Aachen, Dissertation (2017)

4. Coronell, DG, Jensen, KF, “Analysis of Transition Regime Flows in Low Pressure Chemical Vapor Deposition Reactors Using the Direct Simulation Monte Carlo Method.” J. Electrochem. Soc., 139 2264–2273 (1992)

5. Groves, JF, Wadley, HNG, “Monte Carlo Modeling of Atom Transport During Directed Vapor Deposition.” MRS Online Proceedings Library Archive 441 (1996)

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